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- 实验室镀膜耗材
- 其他产品
磁控溅射镀膜仪产品特点：
? 高效镀膜：采用磁控溅射技术，沉积速率高，薄膜均匀性好。? 多功能应用：支持多种靶材和基材，适用于不同材料的薄膜沉积。
? 智能控制：配备先进的控制系统，实现精准的工艺参数控制。
? ?？榛杓疲悍奖阄ず蜕?，可根据需求定制各种功能?？?。
? 环境友好：低能耗设计，减少对环境的影响。
磁控溅射镀膜仪技术参数：
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参数名称 |
参数说明 |
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产品名称 |
桌面型前开门双靶磁控溅射镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-MSZ254-II-DCRF-SS |
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真空腔 |
腔体材质 |
304不锈钢焊接而成，表面做抛光处理 |
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取放模式 |
前开门方式取放样品和靶材 |
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观察窗 |
直径100mm真空窗口，配有磁力挡板，防止污染 |
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样品台 |
样品尺寸 |
直径≦100mm的平面样品均可 |
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旋转速度 |
不旋转和旋转型（0-30RPM）可选 |
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加热温度 |
RT-500℃;RT-800℃;RT-1000℃可选 |
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磁控靶 |
靶枪类型 |
普通永磁靶，可调角度 |
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靶材尺寸 |
直径2英寸，厚度≦3mm, |
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溅射功率 |
300W |
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溅射方式 |
直流溅射 |
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工作真空 |
0.3-3Pa |
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电源 |
直流电源 300W *2 |
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溅射气体 |
高纯氩气，纯度99.99% |
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真空测量 |
复合真空计，电阻规+电离规，测量范围：105-10-5Pa |
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真空获取 |
前级泵 |
抽速 1.1L/S |
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分子泵 |
抽速 600L/S |
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膜厚测量 |
通常配CYKY膜厚测量仪 |
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也可选配进口品牌，价格额外计算 |
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外形尺寸 |
550mm*350mm*450mm |
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包装尺寸 |
770×720*730mm |
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包装重量 |
110 KG |
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