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气体质量流量计全称为质量流量控制器，其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，主要由：流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。质量流量计主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛用于石油化工、冶金、制药等领域；比如：扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。其主要特点：
1、可以任意角度安装
2、良好的线性——多段线性补偿
3、快速的响应速度，稳定度高，重复性好。
4、电磁阀使用寿命≥100万次
5、对零点漂移有效的控制
6、传感器、分流器、精密元器件日本进口
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产品名称 |
气体质量流量计 |
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流量范围 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min |
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调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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调节阀静止状态 |
常闭 |
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安装角度 |
任意 |
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流量控制范围 |
2%～100% |
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流量测量范围 |
0～100% |
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响应时间 |
2s（T98，设定值的±2% F.S.） |
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工作环境温度 |
5℃～50℃ |
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精度保证温度 |
15℃～35℃ |
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精度 |
±1.0%F.S. |
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线性精度 |
±0.5%F.S. |
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重复性 |
±0.2%F.S. |
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工作压差 |
～5L/min (50～300)kPa(D) |
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耐压 |
3MPa |
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泄漏率 |
1×10-8 Pa?m3/s （He） |
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接触气体材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡胶 |
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管路接头 |
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
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供电电源 |
±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA |
+24VDC(宽电压+11～+25V), |
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设定信号 |
(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ |
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
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流量输出信号 |
(0～5)VDC 负载能力≤3mA |
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电气接头 |
D-SUB15,D-SUB9 |
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重量(kg) |
0.9 |
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