产品名称：非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪产品用途：

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一种优良且具有成本效益的涂膜机，用于研发非导电材料薄膜。

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪技术规格：

项目		明细
产品型号		CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
供电电压		AC220V，50Hz
整机功率		6KW
系统真空		≦5×10-4Pa
样品台	外形尺寸	φ185mm
	加热温度	≦500℃
	控温精度	±1℃
	可调转速	≦20rpm
磁控靶枪	靶材尺寸	直径Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷却模式	循环水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔体	腔体尺寸	直径φ300mm，高度500mm
	腔体材质	SUU304不锈钢
	观察窗口	直径φ100mm
	开启方式	顶开式
气体控制		1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM
真空系统		配分子泵系统1套，气体抽速600L/S
膜厚测量		可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 ?
溅射电源		直流电源500W*2,射频电源500W
控制系统		CYKY自研专业级控制系统
设备尺寸		600mm × 650mm × 1280mm
设备重量		350kg

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