产品名称：大功率直流磁控溅射镀膜仪

大功率直流磁控溅射镀膜仪产品内容：

大功率直流磁控溅射镀膜仪包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形，甚至损坏样品；样品台可旋转，可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。

大功率直流磁控溅射镀膜仪技术规格：

项目		明细
产品型号		CY-MSH325- I-DC-SS
供电电压		AC220V，50Hz
整机功率		4KW
系统真空		≦5×10-4Pa
样品台	外形尺寸	φ150mm
	加热温度	≦500℃
	控温精度	±1℃
	可调转速	≦20rpm
磁控靶枪	靶材尺寸	直径Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷却模式	循环水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔体	腔体尺寸	直径φ325mm，高度500mm
	腔体材质	SUU304不锈钢
	观察窗口	直径φ100mm
	开启方式	顶开式
气体控制		1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM
真空系统		配分子泵系统1套，气体抽速600L/S
膜厚测量		可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 ?
溅射电源		直流电源500W
控制系统		CYKY自研专业级控制系统
设备尺寸		600mm × 650mm × 1280mm
设备重量		350kg

免责声明：本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)，仅供参考?？赡苡捎诟虏患笆?，会造成所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，本公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。