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单温区旋转PECVD石墨烯制备
单温区旋转PECVD，安装有真空自动投料器，炉管尾部预留KF40接口可以连接收料罐。投料器采用螺杆进料，可以以额定的速率将粉料送入炉管，投料速率可通过调节转速来更改?？墒迪衷谄毡；さ幕肪诚铝苑勰┎牧嫌?/span>PECVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛?；せ肪诚露源砗玫牧戏劢惺占?。
设备配有100W频率13.56MHz的视频电源。能够在真空中产生等离子体。高能等离子体能够活化样品表面，有效的增强反应效果，提高反应速率，这种辅助方法广泛用于石墨烯制备，颗粒包覆等科学实验上。
本设备特别适合颗粒型样品实验，通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转，转速可调，使得管内物料不断的被搅拌混合，充分与气体和等离子体接触，使样品的反应更加均匀稳定。
技术参数：
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射频电源
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输出功率 |
150W |
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输出精度 |
±1% |
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射频频率 |
13.56MHz |
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射频稳定度 |
±0.005% |
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冷却方式 |
风冷 |
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1200℃单温区管式炉
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
2KW |
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加热温区 |
单个温区200mm |
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工作温度 |
*高1200℃，连续运行温度应≤1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区独立控制，带有过热和断偶?；?/span> |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
φ50x800mm |
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密封方式 |
真空不锈钢法兰、KF16法兰 |
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可调转速 |
0-20rpm |
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倾斜角度 |
0-15° |
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真空泵 |
旋片机械泵 |
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极限真空度 |
1.0E-1Pa |
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进料方式 |
真空漏斗加螺杆进料 |
