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等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-4Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。
离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围：
热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪适用于扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。
热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVZ270-I-HP-SS |
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样品台 |
位 置 |
顶部设置 |
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外形尺寸 |
直径φ150mm |
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转 速 |
0-20 rpm可调 |
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可调温度 |
≦500℃ |
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热蒸发源 |
钨舟 |
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蒸发电源 |
蒸发源配一组独立电源 |
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溅射电源 |
直流电源 |
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溅射靶 |
数量2”×1 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ273mm×H300mm |
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观察窗口 |
直径φ80mm |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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开启方式 |
前开门式 |
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膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
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次级泵 |
涡轮分子泵,气体抽速60L/S |
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真空测量 |
复合真空计(电离规+电阻规) |
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系统真空 |
5×10-4Pa |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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其他参数 |
供电电源 |
AC220V,50Hz |
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整机尺寸 |
600mm×500mm×850mm |
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整机功率 |
7KW |
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整机重量 |
120kg |
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