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产品详情
简单介绍：
碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射，它也可以在高纯氩气的?；ぶ陆卸嘀掷胱哟?，碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪采用机械泵和分子泵，实现高真空。
详情介绍：
○ 产品介绍
TN-PEC250G-HV碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射，它也可以在高纯氩气的?；ぶ陆卸嘀掷胱哟?。通过更换功能套件，设备可以在多种功能间快速切换，非常适合实验室制作SEM样品使用。本仪器装有机械泵和分子泵，能够满足多种真空度要求，尤其能够实现高真空，能够有效提高镀膜质量。
○ 适用范围
实验室镀膜使用。
○ 技术参数
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真空腔体 |
高纯石英，钟罩状，φ250x340mm |
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蒸发腔体 |
高纯石英，镀罩状，带侧面开孔，尺寸φ88x150mm |
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等离子溅射腔体 |
高纯石英，镀罩状，带侧面开孔，尺寸φ88x150mm |
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等离子溅射套件 溅射电压1600V
*大电流50mA
靶面尺寸2英寸
工作真空10Pa~20Pa
工作气氛需通入高纯氩气
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热蒸发镀膜套件 蒸发源数量2个
*大电流100A
工作真空10^-3Pa
工作气氛不通入任何气体
样品台直径φ60mm，可旋转
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碳蒸发套件 蒸发方式碳棒蒸发
*大电流160A
工作真空10^-3Pa
工作气氛不通入任何气体
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真空系统 |
产品型号TN-GZK103-A 分子泵涡轮分子泵 前极泵双极旋片泵 抽气速率分子泵：600L/S综合抽气性能：30分钟真空度可达：5×10E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 极限真空5×10E-4Pa 抽气接口KF40 排气接口KF16 真空测量复合真空计 |
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进气系统 |
配有手动微调阀，接口为1/4英寸卡套接头 |
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供电要求 |
AC 220V 50Hz |
○免责声明
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