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本产品为二合一镀膜仪，可用于电子产品、玻璃、陶瓷样品、金属等样品的镀膜。尤其适合实验室SEM（扫描电镜）的样品制备。设备主要由石英真空室、等离子溅射靶，蒸发镀膜装置，放置样品的样品台，真空泵机组、真空测量规管，进气系统和控制系统组成。
设备主机采用触摸显示屏操作，温控表检测。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。真空室采用上中下结构，样品台与靶的距离灵活可调。
设备真空获得系统采用上等双极旋片泵。 具有体积小，噪音小，无油污污染等优点。
真空腔体采用石英加工而成，呈现圆柱结构，外形美观，大方。主要密封法兰采用 KF 系列高真空密封法兰。真空腔体各接口均采用橡胶密封圈密封，真空性能优良，能有效镀膜质量。
技术参数：
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样品台 |
φ80mm |
至蒸发源间距 |
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20mm~50mm可调 |
φ80mm |
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直流溅射头 |
数量 |
2” x1 |
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蒸发系统
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蒸发源 |
钨丝篮 |
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*高温度 |
1700℃ |
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热电偶 |
S型热电偶 |
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真空腔体
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腔体尺寸 |
φ180mm X 150mm |
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观察窗口 |
全向透明 |
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腔体材料 |
高纯石英 |
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开启方式 |
顶盖拆卸式 |
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真空系统
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机械泵 |
GHD-031B |
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抽气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
电阻规 |
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排气接口 |
KF16 |
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极限真空 |
10E-1Pa |
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供电电源 |
AC;220V 50/60Hz |
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抽气速率 |
旋片泵：4L/S |
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溅射电源配置 |
数量 |
直流电源 x1 |
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*大输出功率 |
150w |
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其他
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供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机尺寸 |
500 X 350 X 400mm |
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整机重量 |
15kg |
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整机功率 |
1.5kw |
