产品名称：桌面型单靶磁控溅射镀膜仪

本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪，可用于金属薄膜的制备，在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用，也可实验室SEM样品制备。

本套配置采用石英真空腔体，镀膜过程全向可视，便于实验的观察记录，腔体设计开启方便，易于清理，十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用?？榛杓?，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手。

桌面型单靶磁控镀膜仪技术参数：

产品名称	桌面型单靶磁控溅射镀膜仪
产品型号	CY-MSZ180-I-DC-Q
样品台	外形尺寸	φ100mm
	加热温度	≦500℃
	可调转速	≦20rpm
磁控靶枪	配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm X 215mm
	观察窗口	全向透明
	腔体材料	高纯石英
	开启方式	上盖拆卸式
真空系统	前级泵	低噪音双极旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速涡轮分子泵
	真空测量	复合真空计，量程:10-5~105Pa
	抽气接口	KF16
	抽气接口	KF40
	排气接口	KF16
	系统真空	1.0×10-4Pa
	供电电源	AC 220V 50/60Hz
	抽气速率	分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s
电源配置	电源数量	直流电源一套
	输出功率	300W
其他参数	供电电压	AC220V,50Hz
	整机功率	2kW
	整机尺寸	550mm X 350mm X1200mm