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    产品详情
    • 产品名称:桌面型单靶磁控镀膜仪

    • 产品型号:CY-MSZ180-I-DC-Q
    • 产品厂商:成越科仪
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。
    详情介绍:

    技术规格:

    桌面型单靶磁控镀膜仪

    产品型号

    CY-MSZ180-I-DC-Q

    样品台

    尺寸

    φ100mm

    加热

    *高500

    转速

    0-20可调

    磁控溅射靶

    数量

    2 x1

    真空腔体

    腔体尺寸

    φ180mm X 215mm 

    观察窗口

    全向透明

    腔体材料

    高纯石英

    开启方式

    上盖拆卸式

    真空系统

    机械泵

    旋片泵

    分子泵

    涡轮分子泵

    真空测量

    电阻规+电离规

    抽气接口

    KF16

    抽气接口

    KF40

    排气接口

    KF16

    极限真空

    1.0E-4Pa

    供电电源

    AC 220V 50/60Hz

    抽气速率

    机械泵1.1L/s  分子泵600L/s

    电源配置

    数量

    直流电源 x1

    *大输出功率

    直流电源300W

     

    其他

    供电电压

    AC220V,50Hz

    整机功率

    2kW

    整机尺寸

    550mm X 350mm X400mm



    豫公网安备 41019702002438号

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