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技术参数
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项目 |
明细 |
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产品型号 |
CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS |
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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整机功率 |
6KW |
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系统真空 |
≦5×10-4Pa |
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样品台 |
外形尺寸 |
φ150mm |
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加热温度 |
≦700℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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可调转速 |
≦40rpm |
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磁控靶枪 |
靶材尺寸 |
直径Φ50.8mm，厚度≦3mm |
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冷却模式 |
循环水冷 |
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水流大小 |
不小于10L/Min |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ325mm，高度385mm |
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腔体材质 |
SUU304不锈钢 |
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观察窗口 |
直径φ100mm |
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开启方式 |
顶开式 |
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气体控制 |
1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM |
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真空系统 |
配分子泵系统1套，气体抽速600L/S |
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膜厚测量 |
可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 ? |
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溅射电源 |
配射频溅射电源,功率500W*3 |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制系统 |
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UPS |
20KVA 16KW，延迟1小时 16节电池，容量38AH |
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设备尺寸 |
1090mm×900mm×1250mm |
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设备重量 |
350kg |
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