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技术参数：
产品名称
桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪
产品型号
CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
样品台
外形尺寸
φ100mm
加热温度
≦500℃
可调转速
≦20rpm
磁控靶枪
配两支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm
真空腔体
腔体尺寸
φ210mm X260mm
观察窗口
全向透明
腔体材料
304不锈钢
开启方式
上盖拆卸式
真空系统
前级泵
低噪音双极旋片泵
分子泵
低噪音大抽速涡轮分子泵
真空测量
复合真空计，量程:10-5~105Pa
抽气接口
KF16
抽气接口
KF40
排气接口
KF16
系统真空
1.0×10-4Pa
供电电源
AC 220V 50/60Hz
抽气速率
分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s
电源配置
电源数量
直流电源两套
输出功率
500W
其他参数
供电电压
AC220V,50Hz
整机功率
4kW
整机尺寸
550mm X 350mm X900mm
