- 磁控溅射镀膜仪
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- 环境模拟试验设备
- 实验室产品配件
- 实验室镀膜耗材
- 其他产品
该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。该三靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比，其不仅应用广泛，且具有体积小便于操作的优点，是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。
镀膜仪配有两路高精度质量流量计，客户若另有需求可以定制至多四路质量流量计的气路，以满足复杂的气体环境构建需求；仪器标配先进的涡轮分子泵组，极限真空可达1.0E-5Pa，同时另有其他类型的分子泵可供选购。分子泵的气路由多个电磁阀控制，可以实现在不关泵的情况下打开腔体取出样品，大大提高了您的工作效率。本产品可以选配一体机工控电脑对系统进行控制，在电脑程序上可以实现真空泵组的控制、溅射电源的控制等绝大多数功能，可以进一步提高您的实验效率。
三靶磁控溅射镀膜仪技术参数：
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三靶磁控溅射镀膜仪(直流电源+射频电源) |
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产品型号 |
CY-MSH325-III-DCDCRF-SS |
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样品台
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尺寸 |
φ140mm |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热温度 |
*高500℃ |
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转速 |
1-20rpm可调 |
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磁控溅射头
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数量 |
2” x3 （1”,2”可?。?/span> |
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水冷机规格 |
10L/min流速的循环水冷机 |
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冷却方式 |
水冷 |
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真空腔体
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腔体尺寸 |
Dia.300mm×300mm |
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观察窗口 |
φ100mm |
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开启方式 |
上顶开式 |
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腔体材料 |
不锈钢 |
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质量流量计 |
2路；量程100sccm；100sccm（可根据客户需要定制多路气路） |
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真空系统
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产品型号 |
CY-GZK103-A |
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抽气接口 |
CF160 |
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分子泵 |
CY-600 |
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排气接口 |
KF40 |
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前极泵 |
旋片泵 |
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真空测量 |
复合真空计 |
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极限真空 |
1.0E-5Pa |
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供电电源 |
AC;220V 50/60Hz |
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抽气速率 |
分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-3Pa |
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电源配置 |
数量 |
直流电源x2 射频电源 x1 |
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*大输出功率 |
直流电源500W 射频电源500W |
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其他
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供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机尺寸 |
600mm X 650mm X 1280mm |
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整机重量 |
300kg |
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整机功率 |
4KW |
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极限真空度 |
1.0E-5Pa |
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