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技术参数：
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项目 |
明细 |
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产品型号 |
CY-MSH300-II-RFDC-SS |
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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整机功率 |
3KW |
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极限真空度 |
10-6torr |
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载样台参数
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尺寸 |
φ140mm |
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加热温度 |
*高500℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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转速 |
1-20rpm可调 |
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磁控溅射头参数
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数量 |
2个2”磁控溅射头 |
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冷却方式 |
水冷，所需流速10L/min |
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水冷机规格 |
16L/min流速的循环水冷机 |
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真空腔体
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腔体尺寸 |
φ300mm X 300mm H |
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腔体材料 |
不锈钢 |
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观察窗口 |
φ100mm |
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开启方式 |
上顶开式，便于更换靶材 |
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气体流量控制器 |
4路分别通N2，Ar，O2，空气；量程均为0-500sccm |
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真空泵 |
配有一套分子泵系统，抽速600L/S |
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膜厚仪 |
石英振动薄膜测厚仪一台，分辨率0.10 ? |
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溅射电源 |
直流电源一台，500W，适用于制备金属膜 射频电源一台，300W，适用于非金属镀膜 |
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操作方式 |
面板按钮操作 |
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整机尺寸 |
1400mm X 750mm X 1300mm |
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整机重量 |
300kg |
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