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本仪器是一种高真空蒸发镀膜仪，钨丝篮（或钨舟）用作蒸发源，并且样品台和蒸发源之间的距离是可调的。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体，密封性能好，真空性能好。 该腔室配有观察窗，因此可以看到涂层过程。 采用分子泵系统的**真空10E-4Pa，可有效提高涂层质量，并能满足大多数蒸发涂层实验所需的真空环境。
高真空热蒸发镀膜仪用途：
卷绕式蒸发镀膜仪可用于不同种类的材料的薄膜生长，大多数金属和某些有机材料薄膜，如金属、半导体、氧化物等。
高真空热蒸发镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
卷绕式高真空蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVH600R-II-HH-SS |
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供电电压 |
单相，AC220V, 50Hz |
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真空腔体 |
内壁处理 |
电解抛光 |
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腔体材料 |
304不锈钢 |
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腔体尺寸 |
卧式Φ600mm×500mm |
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观察窗口 |
前置φ100mm含遮光片 |
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开启方式 |
前开门式 |
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卷绕系统 |
收放卷 |
Φ200mmx300mm |
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速度 |
60m/min（可调） |
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张紧 |
可调 |
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蒸发源和电源 |
部件数量 |
1套金属蒸发源，带独立挡板 |
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电极电压 |
10V |
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送丝速度 |
≤3m/min |
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蒸发电流 |
功率2KW，*大电流为160A，调节精度为1A
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蒸发器 |
钨舟，1个 |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵，抽速1.1L/s |
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涡轮分子泵 |
抽速：600L/s； 额定转速：24000rpm； 启动时间：≦4.5min 冷却方式：水冷+空冷 进气接口：ISO150 出气接口：KF40 真空度：5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的时间少于40分钟 |
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复合真空计 |
测量范围 105Pa~10-5Pa |
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膜厚监测仪 |
测量精度 |
0.1? |
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测量速度 |
100ms-1s/次 |
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可设置测量范围 |
500000?（铝） |
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标准传感器晶体 |
6MHz |
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适用晶体尺寸 |
Φ14mm (标配10片) |
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空压机 |
作用于电控气动阀 |
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水冷机 |
冷却水温度：≦37℃ 流速：10L/min 功率：0.1KW 冷却功率：50W/℃ 水箱容量：9L |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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