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本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪，设备安装有钨丝篮蒸发源，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境；同时设备采用高罐体及电动升降样品台的设计，能够满足不同样品和膜料的蒸镀要求；升降机构采用焊接波纹管密封，在保证密封性的情况下实现了样品台的升降动作。样品台的升降及旋转均可通过屏幕控制，操作简单直观，十分适合实验室使用。
小型蒸发镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
桌面型电动升降样品台蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVZ195-I-H-SS |
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样品台 |
外形尺寸 |
直径φ70mm |
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可调温度 |
≦500℃ |
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热蒸发源 |
金属蒸发源钨舟1个 |
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蒸发电源 |
每个蒸发源配一组独立电源 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ195mm，高度350mm |
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观察窗口 |
直径φ60mm |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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开启方式 |
前开门式 |
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膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
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次级泵 |
涡轮分子泵,气体抽速600L/S |
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真空测量 |
复合真空计(电离规+电阻规) |
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系统真空 |
5×10-4Pa |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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其他参数 |
供电电源 |
AC380V,50Hz |
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整机尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整机功率 |
1200W |
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整机重量 |
95kg |
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