产品名称：桌面型双源蒸发镀膜仪

本产品为桌面型小型双源蒸发镀膜仪，设备安装有两套蒸发源，各蒸发源分别供电，可交替开启也可同时开启；每个蒸发源可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀，因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。真空腔体采用不不锈钢制作，配合分子泵组可达到5x10^-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。两组蒸发源对称放置，每个蒸发源均具有单独的挡板，可保证镀膜过程中不被污染。

小型双源蒸发镀膜技术参数：

产品名称	桌面型双源蒸发镀膜仪
产品型号	CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
样品台	外形尺寸	直径φ60mm
	转速	≦20rpm
	至蒸发源间距	60～100mm 连续可调
热蒸发源	配 2 个钨舟、2个钨丝篮
蒸发电源	2个，每个蒸发源均配挡板
真空腔体	腔体尺寸	直径φ170mm，高度210mm
	观察窗口	直径φ60mm
	腔体材质	304不锈钢
	开启方式	上开启式
膜厚测量	晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪）
真空系统	前级泵	双极旋片泵，气体抽速1.1L/S
	次级泵	涡轮分子泵,气体抽速600L/S
	真空测量	复合真空计(电离规+电阻规)
	系统真空	5×10-4Pa
控制系统	CYKY自研专业级控制器
其他参数	供电电源	AC220V,50Hz
	整机尺寸	600mm×600mm×750mm
	整机功率	1200W
	整机重量	40kg