产品名称：三源高真空蒸发镀膜仪

三源高真空蒸发镀膜仪，设备采用前开门式真空腔体设计，腔体空间大，可拓展性强，能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台，可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热，所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统，由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成，可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境；真空系统内含有完善的气动阀系统，用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不?；》叛?、完全?；炔僮?。

 三源高真空蒸发镀膜仪详情介绍：

 本设备的蒸发源共三组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可*大支持260A的大电流，加热温度*高可达1800℃，可实现多种难熔金属的蒸镀，三组独立热蒸发源，不会导致镀材互相污染。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越，是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。

 三源高真空蒸发镀膜仪应用领域：

金属和介电膜

薄膜传感器的制造

光学元件

纳米与微电子

太阳能电池

  三源高真空蒸发镀膜仪技术参数：

产品名称	三源高真空蒸发镀膜仪
产品型号	CY-EVH300-III-HHH-SS
样品台	外形尺寸	直径φ150mm
	可调温度	≦500℃
热蒸发源	金属蒸发源钨舟3个
蒸发电源	每个蒸发源配一组独立电源；三个蒸发源可同时共蒸
真空腔体	腔体尺寸	直径φ300mm，高度400mm
	观察窗口	直径φ100mm
	腔体材质	304不锈钢
	开启方式	前开门式
膜厚测量	晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪）
真空系统	前级泵	双极旋片泵，气体抽速1.1L/S
	次级泵	涡轮分子泵,气体抽速600L/S
	真空测量	复合真空计(电离规+电阻规)
	系统真空	5×10-4Pa
控制系统	CYKY自研专业级控制器
其他参数	供电电源	AC380V,50Hz
	整机尺寸	1000mm×800mm×1500mm
	整机功率	7KW
	整机重量	350kg