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热丝化学气相沉积产品特点：
本产品为双层不锈钢腔体式结构，结构紧凑合理；本产品分上台架和下台架两大部分，下台架除了用于支撑反应腔室，还布置气路阀门，水路管道以及各种控制元件。上台架布置显示面板，电源器件，合理屏蔽电路干扰；
本产品**分散冷却水道布局（腔体上盖，腔体主体上下层和底板，以及热丝弹力装置等地方）。水泵，水管，智能监控流量计，水路歧管等，均为封闭式循环系统。
本产品气路组合主要由工艺气体供给系统以及真空系统，气路管道的合理分布，有效利用可使用的空间，气体流量，压力的实时监测及**控制。
本产品选用双基片式真空泵，抽气速度稳定在65m3/h.极限优良真空全压为0.5Pa，防护的等级为IP54.
热丝化学气相沉积技术指标与特性：
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真空腔室 |
结构：圆筒形+上盖 材质：304上等不锈钢 腔体尺寸:Φ640x320mm |
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电源： |
AC220V /三相380V 30KW |
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控温 |
低压和大电流直流电源，热丝温度*高可达2500°C。 沉积基体表面：600℃左右 腔体壁温度： <60℃ 控温精度：0.1℃ |
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测温系统 |
远红外光学测温+热电偶监测 |
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热丝装置： |
恒定张力阵列几何形状，钼丝，铜馈通，钨丝结合处理，方便调整与维护 |
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观察窗 |
主观察窗φ190mm 辅观察窗φ45mm |
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水路系统 |
水冷电极、水冷腔体、水冷热丝辅助部件 总水管接口尺寸 40mm 冷却水流量：60L/MIN |
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真空系统 |
双基旋片泵+高真空阀门组合（**阀，流量感应器，调节阀……） ，数显复合真空计， *大抽气速度：65 m3/h 设备保压：停泵 12 小时候后，真空≤10Pa； 抽气接口 CF40 排气接口KF16
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操作系统： |
PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统； |
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**系统 |
报警及?；ぃ憾员?、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应?；ご胧?；完善 的逻辑程序互锁?；は低?； |
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占地尺寸 |
(主机）L1800×W1150×H1550(mm)。 |
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整机重量 |
600kg |
