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- 其他产品
适合的应用:
化学气相沉积法制备高品质单晶钻石
化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜
化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜
化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和钻石膜等各种碳纳米薄膜
产品特点：
本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备，功率密度高；
水冷式基片台和水冷式金属反映腔，保证系统能长时间稳定工作；
基片温度以微波等离子体自加热方式达到；
真空测量仪表采用全量程真空计，可**测量本底真空和工作气体压强；
真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa)，系统可自动控制沉积气压；
配备冷却水循环系统，确保装置高功率下可长时间**稳定运行；
系统带15寸触摸屏，PLC自动控制，可设置温度或气压恒定，可保存复用多达20套工艺文件；
全自动工艺控制?？?，可以稳定可靠地制备高品质钻石薄膜和晶体
技术指标与特性：
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项目名称 |
规格 |
配置 |
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主控单元 |
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PLC 自动程控 |
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微波源 |
6kw 2.45Ghz |
微波电源 |
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微波发生器 |
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波导 |
6kw |
三销钉 |
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模式转换器 |
6kw |
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谐振腔体 |
6kw |
柱形水冷腔体 |
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基台 |
φ70mm |
电动升降 |
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钻石生长基本参数 |
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7x7mm 37片 8x8mm 29片 9x9mm 21片 10x10mm 13片 |
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MFC（质子流量计） |
5路 |
Ch4 0-500sccm H2 0-500sccm N2 0-500sccm Ar 0-500sccm O2 0-500sccm |
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测温元件 |
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高精度红外测温仪 |
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真空测量 |
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高精度真空计 |
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分子泵 |
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默认无/可选 |
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氢气纯化 |
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9N级 |
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水循环 |
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3P水冷机 |
