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产品详情
简单介绍：
迷你石墨烯CVD设备专为石墨烯生产设计配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。迷你石墨烯CVD设备同时设备配有可燃气体检测装置，联动出气口电磁阀，一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。
详情介绍：
迷你石墨烯CVD设备
本套CVD系统专为石墨烯生产设计，采用1200℃迷你管式炉，配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。相比于常规的皮拉尼电阻规，薄膜规的读数**，不受气体种类影响，十分适合真空镀膜工艺。同时设备配有可燃气体检测装置，联动出气口电磁阀，一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。
该套设备功能**占地面积较小，十分适合实验室规模的CVD制备。
特点
1.高精度质量流量计以及薄膜真空规。
2.可燃气体检测装置，联动出气口电磁阀。
3.体积小巧
4.专为石墨烯生产设计
技术参数：
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1200℃迷你管式炉 |
供电电压 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加热温区 | 单温区200mm | |
| 恒温区长 | 100mm | |
| 加热元件 | 耐热合金丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
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工作温度 |
≤1150℃ |
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升温速率 |
建议≤10℃/min |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，带有过热和断偶?；?/span> |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
φ50mm O.D x 450mm L |
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真空泵 |
机械泵 抽速1.1L/s |
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极限真空 |
5Pa |
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三路浮子流量计 |
阀门类型 |
不锈钢针阀 |
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气路数量 |
三路 |
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承压范围 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm |
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流量控制范围 |
±1.5% |
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混气罐容积 |
750mL |
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气路材料 |
304不锈钢 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
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供电电源 |
AC220V 50Hz |
