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产品详情
简单介绍：
全自动CVD滑轨炉系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；四路质子流量计能够准确控制系统的供气；全自动CVD滑轨炉真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
详情介绍：
全自动CVD滑轨炉设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
适用于高校、科研院所、工矿企业做石墨烯的生长、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火，尤其适合需要快速升降温的CVD试验。
全自动CVD滑轨炉技术参数：
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项目 |
明细 |
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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整机功率 |
5KW |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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加热速率 |
建议10℃/min |
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炉管尺寸 |
O.D.50mm-220mm-220mm（加热区）-1200mm管长 |
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控温精度 |
0.1℃ |
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温区 |
双温区 |
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混气系统 |
4路质子流量计：100sccm1个；200sccm1个；500sccm2个 |
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真空泵 |
双极旋片真空泵 |
