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    • 产品名称：1200℃三通道CVD系统

    • 产品型号：CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q
    • 产品厂商：成越科仪
    • 产品文档：
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    简单介绍：
    该套CVD系统主要由：材料加热、真空获取、气体测量和等离子发生器四大部分构成?？梢月闳粘５拇蠖嗍鼵VD实验和各种科研要求。该CVD系统是材料制备过程中的理想之选。
    详情介绍：

    一体式CVD系统设计紧凑，使用方便。特别是丰富的图文界面，即使您是**操作，该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作，您根本无需专业学习，为您节省大量的科研时间，真正做到事倍功半！

    产品特点：

    1、丰富的图文信息：全尺寸液晶图文界面

    2、系统高度集成：各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出

    3、可使实验步骤程序化、自动化

    技术参数：

    项目

    明细

    供电电压

    AC220V，50Hz

    MAX功率

    5KW

    加热温区

    220mm+440mm+220mm

    工作温度

    1100℃ （1200℃＜1h）

    控温精度

    ±1℃

    升温速率

    建议≤10℃/min

    控温方式

    AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条

    三温区独立控制，带有过热和断偶?；?/span>

    炉管材质

    高纯石英

    炉管尺寸

    φ60mm O.D×1300mm L

    气体通道

    三通道质量流量计

    气体量程

    A：100sccm   B：300sccm  C：500sccm

    系统真空

    5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵）

    豫公网安备 41019702002438号
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