产品名称：1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统

       1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统安装有投料器和收料罐。1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统投料器可以以额定速率将粉料送入炉管，可实现在气氛?；さ幕肪诚铝苑勰┎牧嫌肅VD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛?；せ肪诚露源砗玫牧戏劢惺占?。

       1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统广泛用于烧结无机化合物，通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转，使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果。

此款管式炉设计主要是在锂离子电池的阴极材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆导电层，同时也可用CVD方式制备 Si/C 阳极材料。

1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统技术参数：

真 空 管 式 炉	Max功率	4.5kw
	炉管材质	外管不锈钢，内管石英
	炉管直径	两端60mm，中间100mm
	炉管长度	1640mm
	炉膛长度	1060mm
	加热区长	200mm+200mm+200mm
	恒温区长	200mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	倾斜角度	0~15°
	转速	0~20转
供 气 系 统	产品型号	CY-3F
	气体通道	3通道
	测量部件	气体浮子流量计
	测量量程	A通道：0～100ml/min    H2气	备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明?？筛菘突У木咛逡罄囱∨涠杂Φ钠逯掷嗪土砍痰牧髁考?。
		B通道：16～160ml/min    N2气
		C通道：25～250ml/min    Ar气
	测量精度	±2.0%
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
排 气 系 统	机械泵	旋片泵
	抽气速率	1.1L/S
	排气接口	KF16
	真空测量	电阻规
	极限真空	1.0E-1Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	抽气接口	KF16

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