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产品详情
简单介绍：
1200℃高真空迷你CVD设备核心是一款迷你管式炉，采用电阻丝加热。1200℃高真空迷你CVD设备包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分
详情介绍：
1200℃高真空迷你CVD设备该组CVD设备为小型化CVD系统，核心是一款迷你管式炉，采用电阻丝加热，设备*高温度可达1200℃。仪器还包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分。
特点
1. 炉管右侧有数显真空计，用以控制炉管内部的真空度和气氛环境。
2. 系统采用PID智能控温，控温精度能达到±1℃。
3. 管式炉在操作上采用温控表操作，可预设控温曲线，
4. 一键启停，便于使用，能够简化实验操作进而节约试验时间。
5. 高真空分子泵组可以有效提高本低真空度，提高反应产物的质量。
技术参数：
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1200℃迷你管式炉 |
供电电压 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加热温区 | 单温区200mm | |
| 恒温区长 | 100mm | |
| 加热元件 | 耐热合金丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
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工作温度 |
≤1150℃ |
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升温速率 |
建议≤10℃/min |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，带有过热和断偶?；?/span> |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
φ50mm O.D x 450mm L |
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真空泵 |
机械泵 抽速1.1L/s |
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极限真空 |
5Pa |
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三路浮子流量计 |
阀门类型 |
不锈钢针阀 |
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气路数量 |
三路 |
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承压范围 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
160 SCCM (Air) |
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混气罐容积 |
750mL |
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气路材料 |
304不锈钢 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
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分子泵组参 |
产品型号 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
涡轮分子泵 |
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前极泵 |
双极旋片泵 |
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抽气速率 |
分子泵：60L/S |
综合抽气性能： 30分钟真空度可达：5×10E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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极限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
复合真空计 |
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