产品名称：R-PECVD?真空旋转等离子增强CVD设备

单温区管式炉

产品型号

CY-OTF-1200X-I-PEC4

炉管材质

高纯石英

炉管直径

100mm

炉管长度

1500mm

炉膛长度

440mm

加热区长

400mm

恒温区长

200mm

工作温度

0～1100℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

高清全彩LCD触控屏

密封方式

304不锈钢真空法兰

供电电源

AC:220V 50/60Hz

RF输出系统

功率范围

0~500W可调

工作频率

13.56MHz+0.005%

工作模式

连续输出

匹配阻抗模式

能够匹配，起辉均匀布满炉管

功率稳定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

谐波分量

≤-50dBc

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

供电电压/频率

单相交流（187V~153V） 频率50/60Hz

控制模式

内控/PLC 模拟量/RS232/485通讯

电源?；ど柚?/span>

DC过流?；?，功放过温?；?，反射功率?；?/span>

冷却方式

强制风冷

起辉长度

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满炉管

供气系统

流量计

四路质子流量计

流量范围

MFC1量程：0~200sccm  MFC2量程：0~200sccm

MFC3量程：0~500sccm  MFC4量程：0~500sccm

分别对应气体H2、 CH4、 N2、 Ar.

测量精度

±1.5%F.S

重复精度

±0.2%FS

线性精度

±1%F.S.

响应时间

≤4s

工作压力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制

进气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

出气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

连接方式

双卡套接头

工作温度

5~45℃

气体预混

配气体预混装置

排气系统

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

涡轮分子泵

前级泵

双级旋片泵

抽气速率

分子泵：600L/S

综合抽气性能：30分钟真空度可达：5×10E-3Pa

旋片泵：1.1L/S

极限真空

5×10E-4Pa

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计

旋转及倾斜装置

转速范围

0-20rpm

倾斜角度

0-15°

进出料

自动进料，倾斜后可自动集料