产品名称：1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统

1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。

炉管采用高纯氧化铝制成，炉体采用一体式设计，独特的设计能够保证系统在1500℃运行稳定**，加热元件采用高品质硅碳棒，能够达到1500℃高温，若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。

系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。

技术参数：

真 空 管 式 炉	产品型号	CY-CVD1500-60-300-3TH-Q
	炉管材质	高纯氧化铝
	炉管直径	60mm(可选配50mm、80mm、100mm)
	炉管长度	1000mm
	炉膛长度	400mm
	加热区长	300mm
	恒温区长	150mm
	工作温度	≤1450℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
供 气 系 统	产品型号	CY-3F
	气体通道	3通道
	测量部件	气体浮子流量计
	测量量程	A通道：0～100ml/min    H2气	备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明?？筛菘突У木咛逡罄囱∨涠杂Φ钠逯掷嗪土砍痰牧髁考?。
		B通道：16～160ml/min    N2气
		C通道：25～250ml/min    Ar气
	测量精度	±2.0%
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
排 气 系 统	机械泵	旋片泵
	抽气速率	1.1L/S
	排气接口	KF16
	真空测量	电阻规
	极限真空	1.0E-1Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	抽气接口	KF16

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