产品名称：1200℃三温区3路质量供气高真空CVD系统

1200℃三温区3路质量供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。

系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。

本系统还配有精密分子泵组，可以达到1.0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。

技术参数：

真 空 管 式 炉	产品型号	CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q
	炉管材质	高纯石英
	炉管直径	50mm（可选配60mm、80mm、100mm）
	炉管长度	1300mm
	炉膛长度	1060mm
	加热区长	300mm+300mm+300mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
供 气 系 统	产品型号	CY-3Z
	气体通道	3通道
	测量部件	气体质量流量计
	测量量程	A通道：0～100SCCM    H2气		备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明?？筛菘突У木咛逡罄囱∨涠杂Φ钠逯掷嗪土砍痰牧髁考?。
		B通道：0～300SCCM    N2气
		C通道：0～500SCCM    Ar气
	测量精度	±1.0%F.S
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
排 气 系 统	产品型号	CY-GZK103-A
	分子泵	CY-600
	前极泵	旋片泵
	抽气速率	分子泵：600L/S	综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	抽气接口	KF40
	排气接口	KF16
	真空测量	复合真空计：电阻规+电离规
	极限真空	1.0E-5Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz

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