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    产品详情
    • 产品名称:1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统

    • 产品型号:CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q
    • 产品厂商:成越科仪
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统由双温区管式炉和三路浮子流量计组成。管式炉两个温区分别由精密控温仪表独立控温,通过调节各个温区的温度,该管式炉可以在加热区内形成两段温度梯度或是形成较长的恒温区域。每个温区均可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶?;すδ?。1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制炉管内的气氛环境。
    详情介绍:

    1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。

    系统所配有的三路浮子流量计,可以较为准确的配制出实验所需的混合气体;另有一压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。

    本系统还配有精密分子泵组,可以达到1.0E-3pa级别的真空度,较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。

    适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

    技术参数:

    产品型号

    CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q

    炉管材质

    高纯石英

    炉管直径

    50mm(可选配60mm、80mm、100mm

    炉管长度

    1000mm

    炉膛长度

    440mm

    加热区长

    200mm+200mm

    工作温度

    01100

    控温精度

    ±1

    控温模式

    30段或50段程序控温

    显示模式

    LCD

    密封方式

    304不锈钢真空法兰

    法兰接口

    1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

    可抽真空

    4.4E-3Pa

    供电电源

    AC:220V 50/60Hz

    产品型号

    CY-3F

    气体通道

    3通道

    测量部件

    气体浮子流量计

    测量量程

    A通道:0100ml/min    H2

    备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明??筛菘突У木咛逡罄囱∨涠杂Φ钠逯掷嗪土砍痰牧髁考?。

    B通道:16160 ml/min   N2

    C通道:25250 ml/min    Ar

    测量精度

    ±2.0%

    管道耐压

    3MPa

    工作压差

    50300KPa

    连接管道

    304不锈钢

    控制阀门

    304不锈钢针阀

    接口规格

    进气口和出气口为1/4英寸卡套接头

    产品型号

    CY-GZK103-A

    分子泵

    CY-600

    前极泵

    旋片泵

    抽气速率

    分子泵:600L/S

    综合抽气性能:30分钟真空度可达:1.0E-3Pa

    旋片泵:1.1L/S

    抽气接口

    KF40

    排气接口

    KF16

    真空测量

    复合真空计:电阻规+电离规

    极限真空

    1.0E-5Pa

    供电电源

    AC:220V 50/60Hz

    免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考??赡苡捎诟虏患笆?,会造成所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,本公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

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