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功能特点：
离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来，不仅能明显地改进了膜质量，而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快，薄膜附着力强，绕射性好，膜材广泛等优点。十分适合镀硬质?；つと?/span>TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色，且膜层与基板结合牢固，故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。
技术规格：
多弧离子镀膜仪
样品台
尺寸
行星式样品台，外径305mm，四周六工位
工件可悬挂于各工位的支撑棒上
外周转速1~20rpm可调
多弧离子靶
数量
φ84mm X 2
真空腔体
腔体尺寸
φ300mm X 400mm
观察窗口
前置φ100mm含遮光片
腔体材料
304不锈钢
开启方式
前开门式
膜厚控制
晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪
真空系统
前级泵
双极旋片泵
抽气接口
KF16
次级泵
涡轮分子泵
抽气接口
CF160
真空测量
电阻+电离 复合真空规
排气速率
机械泵1.1L/s
分子泵 600L/s
极限真空
1.0E-5Pa
供电电源
AC 220V 50/60Hz
抽气速率
旋片泵：1.1L/S
控制系统
自动控制 操作界面：触控屏+操作面板
其他
供电电压
AC380V,50Hz
整机尺寸
1000mm X 800mm X 1500mm
整机重量
350kg
整机功率
5kW
