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产品详情
简单介绍：
净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等，例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时，可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶；
是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备?。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台，可分别独立工作，也可两台同时工作。
详情介绍：
设备特点：
1、带有100级空气净化装置，可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘，防止
匀胶过程中的杂质污染。
2、 设置有LED照明灯，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可设置时间--转速曲线，程序控制匀胶工艺
4、7英寸液晶显示屏，操作简单易学无需专业学习
主要技术参数：
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匀胶时间 |
1-99秒 |
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匀胶转数 |
0-8000转/分 |
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操作区风速 |
0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态：垂直层流()适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶 |
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净化效果 |
100级（美国联邦标准） |
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外形尺寸 |
650x750x1620mm |
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外体颜色 |
亚白色 |
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控制范围和精度 |
转速控制范围为：500-8000转，精度为±3% |
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时间控制范围为 |
1-99秒，精度为±5% |
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转速调整 |
采用PID调节，精度高 |
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转速查看智能化 |
可自动识别哪个电机开或关，自动转换到开启的电机上?？捎柘妊《?，也可在运行中随时查看任一电机的转速 |
