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    产品详情
    • 产品名称:净化型4寸匀胶机

    • 产品型号:CY-SPC4-SS-JH
    • 产品厂商:成越科仪
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此净化型匀胶机进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶;是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备?。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。
    详情介绍:

    净化型匀胶机特点:

    1、带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止

       匀胶过程中的杂质污染。

    2、 设置有LED照明灯,可程控照明,非常方便日常操作。

    3、可设置时间--转速曲线,程序控制匀胶工艺

    4、7英寸液晶显示屏,操作简单易学无需专业学习

    5、采用无刷伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
    6、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。
    7、排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
    8、透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效

         隔绝有毒气味的散发。

    9、前面板设置有电动玻璃屏升降按钮,可电动升降前挡玻璃板。

    主要技术参数:

    匀胶时间

    1-99 

    匀胶转数

    0-8000/

    操作区风速

    0.3-0.5/(有效操作区气流状态:垂直层流()适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶

    净化效果

    100级(美国联邦标准)

    外形尺寸

    650x750x1620mm 

    外体颜色

    亚白色

    控制范围和精度

    转速控制范围为:500-8000转,精度为±3%

    时间控制范围为

    1-99秒,精度为±5%

    转速调整

    采用PID调节,精度高

    转速查看智能化

    可自动识别哪个电机开或关,自动转换到开启的电机上??捎柘妊《?,也可在运行中随时查看任一电机的转速



    豫公网安备 41019702002438号

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