产品名称：防腐蚀匀胶机

防腐蚀匀胶机主要特点：

1.表壳和旋转盘由聚丙烯（PP）制成，可抵抗大部分腐蚀性溶液。

2.数字控制箱与旋涂机分开。

3.标配一个过滤器。它用于连接泵和涂布机，以防止废水流入泵。

4.标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。

5.带真空和盖子开关互锁功能，确保操作稳定。

6.内腔直径150mm，PP防腐真空吸盘Φ100mm，可处理碎片（小于1cm）至6英寸圆晶底物。

7.数字控制面板，带有6个可编程段，可实现不同的旋转时间和速度。

8.电机启动快速稳定，可以保证图层厚度的一致性和均匀性。

	项目	明细
旋涂仪	供电电压	AC220V，50Hz
	转速	0~10000rpm
	加速度	100~5000rpm/s
	转速分辨率	1rpm
	单步时间	3000s
	基片尺寸	直径≤8英寸（200mm）
	腔体材质	聚四氟
	操作方式	7寸高清LCD触控屏
	滴胶方式	手动滴胶，可选购精密注射泵
	匀胶曲线	每条曲线5段，共可储存5条曲线
	抽气接口	φ8mm 快拧接口
	整机尺寸	290mm×365mm×310mm
	整机重量	12kg
排气系统	真空泵	干式机械泵
	抽气速率	50L/min
	供电电源	AC220V  50/60Hz

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