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本品是一款快速退火炉，采用卤素灯管加热，可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积、等等。
设备主要由石英真空室、真空泵机组、水冷机组、控制系统组成?？刂葡低巢捎弥悄芪驴乇砜刂?，触控屏操作。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。炉膛采用左右滑动的方式，与样品的距离灵活可调。
设备配有国产双极旋片泵，具有体积小，噪音小，无油污污染等优点。
RTP快速退火炉技术参数：
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型号 |
CY-RTP1000-Φ150-400-T |
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炉管规格 |
内径120mm，加热温区400mm，总长度550mm 材质：高纯石英 |
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升温速率 |
0-100℃/s |
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降温速率 |
200℃以上≤25min |
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加热元件 |
卤素灯 |
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真空接口 |
KF16 |
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进气接口 |
宝塔头 搭配外径8mm导气软管使用 |
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法兰规格 |
φ120不锈钢真空法水冷法兰 水冷接口：φ8mm快插接头 |
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真空系统 |
双极旋片泵 抽速1.1L/s 极限真空度： 10-1Pa |
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温控系统 |
智能温控表控温 带有超温?；?/span> 测温：K型热电偶 |
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水冷机 |
水箱容量9L，*大扬程10m |
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进气接口 |
φ8宝塔头 |
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电源要求 |
220V 50Hz，18kW |
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外形尺寸 |
1200mm x 610mm x 570mm |
