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产品详情
简单介绍：
本设备为客户定制等离子测试设备。设备主要部件为一个电感耦合的等离子发生器，发生器能够在电感线圈内部的石英管内产生等离子体，石英管两侧的法兰配有观察窗，用户可以在观察窗上观察实验现象或者用其他仪器测量相关参数。设备采用触控屏控制，屏幕集成所有实验功能，如抽放真空、流量控制、射频电源调节等。同时电感线圈采用水冷设计，外壳另有散热风扇，保证了整套设备长时间工作的稳定性。该设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的必备仪器。
详情介绍：
技术规格：
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
1KW |
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耦合方式 |
电感耦合 |
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石英腔体 |
O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm |
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观察窗尺寸 |
φ30mm |
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真空接口 |
KF16 |
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进气口接口 |
6.35mm 卡套接头 |
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质量流量计 |
Ar标定 量程100sccm |
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真空泵 |
双极旋片真空泵 |
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极限真空度 |
0.1Pa |
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冷却方式 |
水冷铜管+风冷壳体 |
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射频电源 |
*大输出功率300W 自动匹配 频率13.56MHz |
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整机尺寸 |
560mm X 620mm X 620mm |
