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卷对卷式PECVD技术参数：
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1200℃双温区管式炉 |
供电电压 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
3KW |
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加热温区 |
双温区 200mm+200mm |
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工作温度 |
≤1200℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
φ80mm I.D x 1400mm L |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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真空测量 |
电阻规 |
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工作气体 |
氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 |
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真空泵 |
双极旋片式真空泵 |
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极限真空度 |
10^-1Pa |
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三路质量流量计 |
阀门类型 |
不锈钢针阀 |
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气路数量 |
三路 |
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承压范围 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) |
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流量控制范围 |
±1.5% |
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混气罐容积 |
750mL |
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气路材料 |
304不锈钢 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
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供电电源 |
AC220V 50Hz |
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S射频电源 |
输出功率 |
500W |
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输出精度 |
±1% |
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射频频率 |
13.56MHz |
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射频稳定度 |
±0.005% |
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冷却方式 |
风冷 |
