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一、技术特点：
1.多达六路探头可同时监控，每路自由设置，既能独立运行，也可联合工作。
2.每路二组继电器输出，到达设置厚度自动关闭挡板/蒸发源；
3.全触摸屏操作显示，简单易用；
4.提供RS232/RS485接口，MODBUS RTU标准协议，多波特率可选，并配有专用控制软件。
二、应用范围：
适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控；
膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和镀膜时间等。
三、主要参数：
CY-FTM-M4/M6多通道监控仪
晶振频率
6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体)
显示方式
5”彩色触屏+1路数码管显示速率和实厚
操作方式
触摸屏
厚度显示范围
0-99μ9999?
厚度实际分辨率
0.1?（铝）
厚度显示分辨率
1?
速率范围
0-999.9?
速率显示分辨率
0.1?/s
镀膜层数
99层
探头输入
4路/6路（可同时工作）
工具因子
0.01-99.99
材料存储
257+自定义10种
通 讯
RS232/RS485 MODBUS
RTU协议
挡板/源控制
每路2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源
镀膜显示
数值/速率曲线
镀膜巡回次数
0-99
机箱尺寸
480×250×89mm(2U
19”机箱)
四、特殊功能：
（1）任意设置每一路的工作状态，具有人工停止镀膜功能；
（2）可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比；
（3）显示镀膜结束后的监测厚度、晶振频率、材料和层次。
