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    产品详情
    • 产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪(基础型)

    • 产品型号:CY-PLZ180-III-DC-Q
    • 产品厂商:成越科仪
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    本型号小型等离子溅射仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台,能够有效的提升镀膜的均匀性。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。设备体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择。
    详情介绍:

    技术参数:

    产品名称

    三靶等离子溅射镀膜仪(基础型)

    产品型号

    CY-PLZ180-III-DC-Q

    样 品 台

    尺寸

    100mm

    到靶面距离

    20~35mm高度可调

    等离子溅射靶

    数量

    2英寸 x3   

    冷却方式

    自然冷却   

    真空腔体

    腔体尺寸

    φ180mm X 200mm    

    观察窗口

    全向可视

    腔体材料

    高纯石英

    开启方式

    顶盖拆卸式

    上下盖材质

    304不锈钢

    抽气接口

    KF25

    进气接口

    1/4英寸卡套接头

    电源配置

    数量

    直流电源x1

    输出功率

    *大150W

    溅射电源

    3000V

    *大溅射电流

    50mA

    真空系统

    真空泵类型

    双极旋片真空泵

    抽气接口

    KF25

    排气接口

    KF16

    抽气速率

    1.1L/s4m3/h

    极限真空度

    1Pa

    真空测量

    电阻真空规

    其  他

    供电电源

    AC 220V  50Hz

    整机功率

    1.5kW

    整机尺寸

    570mm X 450mm X550mm

    整机重量

    30kg




    豫公网安备 41019702002438号

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