产品名称：小型双炉体滑道管式炉

小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。

该设备可用于石墨烯制备、硫化物制备等。

小型双炉体滑道管式炉技术参数：

微 型 管 式 炉	产品型号	CY-O1200-50SDM
	炉管材质	高纯石英
	炉管直径	50mm
	炉管长度	1400mm
	加热区长	300mm
	恒温区长	200mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	高亮数码管数字显示
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
供 气 系 统	产品型号	CY-3Z
	气体通道	3通道
	测量部件	气体质量流量计
	测量量程	A通道：0～100SCCM    H2气	备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明?？筛菘突У木咛逡罄囱∨涠杂Φ钠逯掷嗪土砍痰牧髁考?。
		B通道：0～300SCCM    N2气
		C通道：0～500SCCM    Ar气
	测量精度	±1.0%F.S
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
排 气 系 统	机械泵	旋片泵
	抽气速率	4L/S
	排气接口	KF16
	真空测量	电阻规
	极限真空	1.0E-1Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	抽气接口	KF16

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