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    产品详情
    • 产品名称:三路质量流量计

    • 产品型号:CY-3Z
    • 产品厂商:成越科仪
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    产品特点:1.选择多种气体方式;2.304不锈钢管芯,耐腐蚀;3.不锈钢双卡快速接头,连接方便,无泄漏。
    详情介绍:


    ○ 适用范围
    1.半导体制造业
    2.真空镀膜设备
    3.特殊材料表面处理
    4.燃气控制
    5.泄漏检测系统
    6.环境检测分析设备
    7.化学,石化,冶金,光纤等


    ○ 产品特点
    1.选择多种气体方式
    2.304不锈钢管芯,耐腐蚀
    3.不锈钢双卡快速接头,连接方便,无泄漏

    ○ 技术参数

    功能

    三路质量流量计

    质子流量控制器

    工作温度:5~45 oC
    *大压力: 3x106 Pa
    精度: ±1.5% FS
    重复精度: ±0.2%F.S.
    流量范围:
    一路: 0~100 SCCM
    二路: 1~199 SCCM 
    三路: 1~499 SCCM 
    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    输入电源

    AC 220V/50Hz单相

    功率

    150W

    机械压力表

    有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

    量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

    针阀

    316 不锈钢

    通气管道

    内部连接管道为1/4”不锈钢管 

    外部通气管道为1/4”聚四氟管 

    混气罐

    Φ80X120mm

    截止阀及配件

    316不锈钢针阀 

    Φ1/4” 不锈钢管

    外形尺寸

    600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

    质量认证

    CE认证

    质保期

    一年质保期,终身维护

    豫公网安备 41019702002438号

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