产品名称：无油真空泵

主要技术特点

·工作可靠

   CY-SPX无油真空泵在半导体、航空航天、石油化工、食品药品、电力、能源、环保、汽车、分析测试
   仪器等行业生产线上常年连续运行，稳定可靠，为各行业生产和科学研究用户信赖。

·性能优良

   对被抽系统无油污染，创造出了洁净的真空环境；

   噪音低、振动低、温升低、密封材料性能优异、寿命长达5年，可靠耐用；

   排气机构部件互不接触，无摩擦，效率高；没有返油与水蒸汽，也不喷油，节能环保；

   极限压力低至1Pa以下，可以替代油旋片真空泵。

·性价比合理

   价格合理，节省采购成本；

   运动件无摩擦能耗低，配件质优价廉，服务及时可靠，节省运行成本；

   *终产品质量好、成品率高、测试指标准确，节省产品生产成本；

   不需要冷却水和润滑油，不需要日常维护，节省人工费用。

·应用领域

	工业	半导体	能源石化	食品药品	科学研究	分析测试
真空封装 存储	√	√		√	√
真空炉	√	√			√
排气台	√	√			√	√
烘箱/冷冻干燥	√	√	√	√	√
气体回收/再循环	√	√	√	√	√	√
制冷/空调管路抽真空	√
制动/管路抽真空	√	√	√	√	√
激光抽真空	√				√
分子泵前级	√	√		√	√	√
工艺预抽真空	√	√	√	√
镀膜	√	√			√	√
检漏	√	√	√		√	√
手套箱	√	√		√	√
质谱仪					√	√
电子显微镜					√	√
高能束线/加速器					√	√
高真空试验台					√
样品制备					√	√

·主要技术参数

型号			CY-SP1000	CY-SP600		CY-SP300		CY-SP150
排气速度		l/s	16.6	8.7		4.3		2.0
		l/min	996.0	522.0		258.0		120.0
		m3/h	59.8	31.3		15.5		7.2
		cfm	35.8	18.7		9.3		4.3
极限真空度		Pa	≦1.0	≦1.0		≦2.6		≦8.0
		Torr	≦7.5×10-3	≦7.5×10-3		≦1.9×10-2		≦6.0×10-2
		mbar	≦1.0×10-2	≦1.0×10-2		≦2.6×10-2		≦8.0×10-2
		psi	≦1.4×10-4	≦1.4×10-4		≦3.8×10-4		≦1.2×10-3
噪音值		dB(A)	≦63	≦63		≦63		≦57
漏率（排气口和气镇阀关）			1×10-5Pa·m3/s
*大进/排气压力		MPa	0.1 /0.13
工作环境温度		℃/℉	5～40/41～104
*大水分处理能力		G/h	60					50
电机	输出功率	kW/hp	1.50/2.00	0.75/1.00		0.55/0.74		0.25/0.33
	工作电压	VAC	380/220	380/220	220	380/220	220	380/220	220
	转速	rpm	1410
进/排气口尺寸		mm	KF40/16×2	KF40/16		KF25/16		KF25/16
重量		kg	52	36		32		18
冷却方式		风冷
其他		带气镇阀