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    PECVD系统应用的说明

    日期:2025-05-15 00:16
    浏览次数:1268
    摘要:
     PECVD主要是对半导体材料硅的溅射。

    PECVD系统应用:

        1. 广泛应用于MEMS、先进封装、功率半导体、LED制造、RF集成电路等领域

        2. 放射方式对称工艺气体显著提高晶圆片内均匀性(WIW)

        3. 多达10路气体管路,可选on-board液体输送系统

        4. 复合频率等离子体能力调节应力

        5. 有源冷却平台应用在关键,低温[小于175°C]封装工艺

        6. 可选敏感的de-gassing衬底材料增加单/多晶圆预加热腔室

    尊敬的客户:

      本公司还有快速退火炉、等离子清洗机、磁控溅射镀膜仪等产品,您可以通过网页拨打本公司的服务电话了解更多产品的详细信息,至善至美的服务是我们的追求,欢迎新老客户放心选购自己心仪产品,我们将竭诚为您服务!
     

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