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等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的
5L等离子清洗机 电容耦合特点：
腔体可利用面积大，起辉均匀，可清洗6英寸硅片。
5L等离子清洗机电容耦合技术参数：
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主要部件 |
指标名称 |
参数指标 |
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清洗仓体 |
清洗仓材质 |
SS304 |
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清洗仓尺寸 |
200x160x240mm |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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射频电源 |
电源特性 |
该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放?？楹椭绷髂？?，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
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电源优势 |
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少 |
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射频功率 |
0~300W连续可调 |
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信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤100W |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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射频接头 |
N型头 |
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整机效率 |
≥75% |
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谐波分量 |
≤-50 dBc |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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气体测量 |
测量部件 |
两路质量流量计 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他参数参考之前的产品 |
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气体通道 |
两通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空获取 |
真空测量 |
数字真空计（电阻规） |
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真空抽取 |
双极旋片泵 |
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电机转速 |
50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 |
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抽气速率 |
50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。 |
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真空量程 |
0.1Pa～10000Pa |
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极限真空 |
0.5Pa |
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电机噪音 |
≤56dB |
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管道接口 |
进气口：KF16;排气口KF16. |
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连接管道 |
KF16真空波纹管 |
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真空阀门 |
KF16球阀 |
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电机功率 |
400W |
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其它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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整机功率 |
800W |
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使用温度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整机尺寸 |
600mmX650mmX560mm |
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整机重量 |
80kg（含包装） |
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